真空度是指处于真空状态下的气体稀薄程度。若所测设备内的压强低于大气压强，其压力测量需要真空表。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，即： 真空度=大气压强-绝对压强，绝对压强=大气压+表压（-真空度）。
在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，该压力值越小则表示气体越稀薄。
由于是抽真空元件内部的气体，所以和元件内部的温湿度关系大，和大气的温湿度关系小，但如果大气的温度较高湿度小的话，抽空效果会好一点。
一般情况下，水是影响真空的重要因素，要抽出水分最重要一点是温度，如果没有足够的热能，由于抽真空导致气压下降，部分液态水会挥发，使留下的水温度下降，甚至变成冰。
扩展资料：
在实际情况中，真空泵的绝对压力值介于0～101.325KPa之间。绝对压力值需要用绝对压力仪表测量，在20℃、海拔高度=0的地方，用于测量真空度的仪表(绝对真空表)的初始值为101.325KPa(即一个标准大气压)。
"相对真空度"是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。用普通真空表测量。在没有真空的状态下(即常压时)，表的初始值为0。当测量真空时，它的值介于0到－101.325KPa（一般用负数表示）之间。
比如，有一款微型真空泵PH2506B测量值为－75KPa，则表示泵可以抽到比测量地点的大气压低75KPa的真空状态。
一个标准大气压是这样规定的：把温度为0℃、纬度45度海平面上的气压称为1个大气压，水银气压表上的数值为760毫米水银柱高。
参考资料来源：百度百科——真空度
真空度怎么计算？
真空度计算为相对真空度=绝对真空度(绝对压力)-测量地点的气压；
真空度：低于当地大气压力的压力值 。绝对真空度：用绝对压力仪表测量的绝对压力。相对真空度是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值.当测量真空时,它的值介于0到－101.325KPa（一般用负数表示）之间。
扩展资料：
真空度是指处于真空状态下的气体稀薄程度。若所测设备内的压强低于大气压强，其压力测量需要真空表。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，即： 真空度=大气压强-绝对压强，绝对压强=大气压+表压（-真空度）。
气体稀薄程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
全面解释
“真空度”顾名思义就是真空的程度。是真空泵、微型真空泵、微型气泵、微型抽气泵、微型抽气打气泵等抽真空设备的一个主要参数。
所谓“真空“，是指在给定的空间内，压强低于101325帕斯卡(也即一个标准大气压强约101KPa)的气体状态。
在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，该压力值越小则表示气体越稀薄。
详细定义
所谓的真空度是指一个空间内气体分子数的密度比标准状态下(一个大气压101325pa)少。而湿度通常是指气态水分子的多少。空气中除了氮和氧以外，还有很多其他气体，水分就是其中之一，所以通常来讲湿度越大真空度越小，那相对来说湿度大抽真空就不容易。决定真空度大小有两个因素：一个是真空泵本身能达到的极限真空度和抽速，一个是整个系统的泄漏量。由于任何物质由固态或液态转化为气态都需要能量，所以气温越高，分子运动越活跃，越容易将其抽出。
由于是抽真空元件内部的气体，所以和元件内部的温湿度关系大，和大气的温湿度关系小，但如果大气的温度较高湿度小的话，抽空效果会好一点。
一般情况下，水是影响真空的重要因素，要抽出水分最重要一点是温度，如果没有足够的热能，由于抽真空导致气压下降，部分液态水会挥发，使留下的水温度下降，甚至变成冰。 [2]
定义三
由于传统真空度表示的低于标准大气压强的压力值大小，不太容易比较出与标准大气压强的关系。目前有很多人更倾向于接受：真空度=（标准大气压强-系统压强）/标准大气压强。
参考资料：
真空度太高,设备转不动
对于真空度的标识通常有两种方法，一是用绝对压力（即：绝对真空度）标识，二是用相对压力（即：相对真空度）标识。
所谓"绝对压力"是指，真空泵与检测容器相连，经过足够时间连续抽气后，容器内的压力不再继续下降而维持某一定值，这时容器内的气体压力值就是泵的绝对压力。如果容器内绝对没有气体，那么绝对压力就是零，这是理论真空状态。在实际情况中，真空泵的绝对压力值介于0～101.325KPa之间。绝对压力值需要用绝对压力仪表测量，在20℃、海拔高度＝0的地方，仪表的初始值为101.325KPa。简而言之，以“理论真空”作为参照来标识的气压，称为：“绝对压力”或“绝对真空”。
"相对真空度"是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。用普通真空表测量。在没有真空的状态下，表的初始值为0。当测量真空时，它的值介于0到－101.325KPa（一般用负数表示）之间。比如，测量值为－30KPa，则表示泵可以抽到比测量地点的大气压低30KPa的真空状态。同一台泵在不同的地点测量，其相对压力值可能是不同的，因为不同测量地点的大气压是不同的，这是各地的海拔高度、温度等不同客观条件造成的。简而言之，以“测量地点大气压”作为参照来标识的气压，称为：“相对压力”或“相对真空”。
国际真空行业通用的、也是最科学的是用绝对压力标识；由于测量相对真空度的方法简便、测量仪器非常普遍、容易买到且价格便宜，因此它也得到广泛应用。当然，理论上二者是可以相互换算的。换算方法如下：绝对压力＝测量地点的气压－相对压力的绝对值。
半导体设备中的关键词--真空
1、检查真空泵是否正常。如果正常工作，则检查系统中是否存在泄漏。
2、检查设备的真空度是否超过了设定的最大值。
3、如果真空度超过了设定的最大值，可以采取降低真空度的措施，比如增加进气口的大小、采用更大的真空泵或者更小的进气口等。
4、如果系统中存在泄漏，可以采取排除泄漏的措施，比如更换零件、密封接头等。
5、采取改善系统结构的措施，比如减少管路的长度、优化管路布置等。
6、正确使用真空设备，比如控制真空度、控制进气量等，以确保真空度控制在设定的最大值以内。
真空，指某一个容器中不含有任何物质（现实生活中并不存在真正的真空），通常我们把低于正常大气压的容器状态就叫做真空状态。绝大多数半导体工艺设备都需要真空。
真空度，表示该容器中，气体的稀薄程度，通常用压力值表示。实际应用中，有绝对真空和相对真空两种说法。
绝对真空，又可以叫做绝对压力，绝压，它是以理论真空为零位，表示比“理论真空”高出多少压力，该值都是正值，值越小，越接近绝对真空，真空度越高；即，值越小，气体越稀薄，真空度越高；通常该值的后面会用abs.作为后缀。 比如：真空度从高到底的顺序是1 mbar abs. >10 mbar abs. >1个 标准大气压。
相对真空，又可以叫做表压，负压，是以大气压作为零位，表示比该零位低多少，用负值表示。该值越大，真空度越高，比如真空度从高到底依次是 -1000 mbar >-500 mbar >0 mbar (大气压）。
通常，国内习惯用相对真空来标识真空度，因为相对真空的测量方法简单，测量仪器普遍（一般的真空表都是相对真空表），大家为了表达方便，会把相对真空前面的负号去掉，比如设备的真空度是0.1MPa，实际是-0.1MPa；再比如，如果我们购买真空表时，一般卖家会问，真空度用的是绝压还是表压，这时要考虑我们自己的需求了，一般情况下我们用的是表压，即相对真空。
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