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多晶硅铸锭炉是用途是什么?

2023-10-25 23:000网络

多晶硅铸锭炉是用途是什么?

多晶硅铸锭炉

1、 设备用途:

太阳能级多晶硅真空定向凝固铸锭。

2、 技术指标:

2-1 铸锭规格:

铸锭尺寸: 720mmL×720mmW×275mmH,

铸锭重量: 300kg

2-2 加热方式: 四区石墨电阻加热

2-3 额定温度: 1550℃

2-4 控温精度: ±1℃

2-5 极限真空度: 6.67×10-2Pa

2-6 压升率: 0.01PaL/S

2-7 充气系统: 由充气管路和阀门组成,自动控制

2-8 额定充气压力:0.05MPa

2-9 温度梯度:1℃—10℃/cm

2-10定向凝固速率:0.1mm-0.5mm/Min

2-11 加热电源: 直流电源

2-12 加热总功率: 200KW

2-13 石墨热场材料:进口高级石墨碳毡、高纯石墨加热器和碳碳复合材料

2-14 真空系统配置:德国莱保真空泵,全不锈钢真空管路阀门

2-15 炉体材料:全不锈钢制造

2-16 控制系统:西门子S7-300可编程控制单元

2-17 控制方式:触摸屏自动控制系统

2-18 水冷却形式: 闭式冷却水循环系统

3、设备特点:

3-1 四组石墨加热器分上部、侧上、侧下和下部合理布局,即能满足硅熔化所需的高温均匀热场,又能够通过功率调整实现定向凝固所需要的良好的温度梯度。

3-2 定向凝固石墨单元用于保证硅结晶过程中固液界面的平面度。

3-3 控制系统全面实现自动化、工艺过程固化存储。

多晶炉和铸锭炉有什么区别

多晶硅铸锭炉是一种硅重熔设备,用于生产大量合格的太阳能级多晶硅铸锭。生产中,将达到一定纯度要求的多晶硅装入炉中,按工艺要求加热、熔化、定向长晶、热处理、冷却出炉。多晶硅重熔化长晶的这样一个核心环境,我们称之为热场。热场不单为多晶硅熔化提供大量的热能,在长晶过和程中又提合理的温度梯度场以得到合乎要求的多晶硅晶体。

目的是提供一种设计合理,能有效提高多晶硅加工质量、重量的多晶硅铸锭炉热场结构。

主要由炉体(1),置于炉体(1)内带提升机械吊杆(11)的保温隔热笼体(9),置于保温隔热笼体(9)内保温层(2),置于保温隔热笼体(9)上部保温顶板(10),下部支撑柱(4)的保温隔隔热底板(5),置于保温隔热笼体(9)内固定于保温隔热顶板(10)的加热器(8),固定于支撑柱(4)上面带坩埚(7)和热交换台(3)等构成。由保温隔热笼体的保温层与保温隔热底板、保温隔热顶板构成一个封闭的热场腔室,并由档火条(15)和下隔热笼底部保温条(6)腔室分为上、下两部分,由铜电极(12)通电,由进气管(13)进气,等等组成。

本结构设计合理,由保温隔热笼体内保温层与保温隔热底、保温隔热顶板构成一个封闭的热场腔室,并由隔热笼底部保温条下层将热场腔室分成上下两部分,使之在腔体内形成一个垂直稳定的温度梯场,正常生产时,承装在坩埚中的多晶硅原材料被搁放在热交换台上完成整个重熔长晶过程,本设计在实际应用中经测试,不仅能生产出高品质硅锭,提生了产量,也缩短了整个工艺时间,降低了结晶过程中的能耗。

图片擦入不了

多晶铸锭炉的体积增大的影响有那些?

多晶

炉和

单晶炉

产品是圆柱形晶体棒的,

铸锭

炉产品是

长方体

棒子是慢慢的拉制出来的,铸锭是一次成型

两者加热装置差不多,多晶炉有上下的牵引装置,

铸锭炉

没有

多晶炉的

坩埚

是圆筒形,铸锭炉是方筒

1. 炉体增大目的就是为了提高热场的容量,在生产时间相差不多情况下提高铸锭炉单位硅锭

重量,提高产能。这其中的热场肯定要根据实际温度分布重新设计以改进铸锭工艺,比如

京运通460型炉和880型炉及GT270型和450型都是炉体一样对热场进行改进,可以借鉴。

2. 现在相对来说450型铸锭工艺比较成熟,楼主的炉体大,铸锭重量不增加,建议模仿450型,

这样温区比较紧凑,温区好控制。

3. 炉体大小只是铸锭重量增加的决定性因素之一,主要还是内部热场容量。炉体越大对后期的

热场升级留有余量。

4. 具体参数现在都是保密的,可以派个间谍到生产厂家现场测绘。^O^

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