无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)、无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
洁净厂房建筑方式可分为土建结构和装配式两种,其中普遍采用装配式。
装配式洁净厂房系统主要由初,中,高三级空气过滤的空调送风回风和 排风系统;动力及 照明系统;工作环境参数的监测报警消防和通讯系统;人流和物流系统;工艺管路系统;维护结构及静电地面处理等各方面所要求的实施内容组成,形成空调净化系统工程所包含的整个设备和器材的配套和建筑安装内容。
无尘车间温湿度主要是根据生产工艺要求来确定的,在满足生产工艺的条件下,应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度要求。如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,温度上升,就可能引起线性膨胀,同时要求湿度值一般较低。
对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:
1、洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
2、相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
3、洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
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